Tendencje rozwojowe czujników półprzewodnikowych

Jedna z metod pomiaru ciśnień polega na pomiarze ugięcia przepony pomocą układu 1 do 4 tensometrów rezystorowych, włączonych w mostek Wheatstone'a. Wymagania stawiane takiemu czujnikowi nie są łatwe spełnienia. Przy zmianie napięcia na wyjściu mostka w granic 30...200 mV trzeba zagwarantować dokładność 0,002% wart. max/°C, zarówno przy niskich, jak i przy wysokich ciśnieniach (powyższe dane dotyczą czujnika do pomiaru ciśnienia w kanale dolotowym silnika). Z wielu typów tensometrów: drutowych, foliowych -klejonych, półprzewodnikowych klejonych i półprzewodnikowych monolitycznych najlepsze okazały się czujniki monolityczne. Czujniki drutowe są zbyt skomplikowane (przy czym wiele czynŹności montażowych musi wykonywać wyspecjalizowany personel), nieodporne na wstrząsy, a ich stabilność jest niezadowalająca. Czujniki fokowe, naklejone na metalową przeponę, podobnie jak i naklejane czujniki półprzewodnikowe również okazały się niestabilne w eksploatacji. Tensometry półprzewodnikowe naklejane charakteryzują się bardzo małymi wymiarami (0,8...1,25X12,5X12,5.,.X2...7 mm) oraz większym niż w innych rozwiązaniach napięciem wyjściowym, są jednak również niestabilne.